CANON 五轴高精度激光钻孔扫描系统

1 带电流扫描仪的激光扫描头可以自由改变同一加工位置的光轴方向

2 通过我们独特的光学技术实现大光轴倾斜和高速扫描

3 配备使用PSD传感器的自动校正系统

4 适用领域: 探针卡加工、陶瓷加工、精细模具加工、汽车零部件加工

※1 光学角度
详情请联系我们的销售人员。

(*1) 扫描圆度值取决于校正结果。扫描条件：200Hz，φ1.0mm
测量条件：使用PSD传感器测量

扫描模式

2D模式

此外，通过组合线段，可以实现具有高自由度的扫描图案。

加工实例

在高精度激光钻孔扫描系统中，可以通过高速扫描，用短脉冲激光连续控制加工孔的锥度。可以在Sus、SI等金属、玻璃等各种工件上钻孔。

Material	Si3N4
Substrate Thickness	350um
Process shape	Square 50um × 50um Hole wall width: 25um
Laser	Green Corner R < 3um (typical)

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